ניקוי משטח פלזמה הוא תהליך שבו זיהומים ומזהמים ממשטח הדגימה מוסרים על ידי יצירת פלזמה באנרגיה גבוהה מחלקיקים גזים, הוא תוכנן עבור יישומים שונים כגון ניקוי פני השטח, עיקור פני השטח, הפעלת פני השטח, שינוי אנרגיית פני השטח, הכנת משטח להדבקה והדבקה, שינוי כימיה של פני השטח.